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RIX多通道旋轉(zhuǎn)接頭/半導(dǎo)體行業(yè)用

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產(chǎn)品名稱: RIX多通道旋轉(zhuǎn)接頭/半導(dǎo)體行業(yè)用
產(chǎn)品型號(hào): MS22系列
產(chǎn)品廠商: 巖瀨商事
產(chǎn)品文檔: 無(wú)相關(guān)文檔

簡(jiǎn)單介紹

RIX多通道旋轉(zhuǎn)接頭/半導(dǎo)體行業(yè)用 MS22系列,是專為半導(dǎo)體行業(yè)開發(fā)的,用于供應(yīng)純水和化學(xué)溶液。主回路采用非金屬材料,使其成為*大限度減少金屬離子溶入液體的旋轉(zhuǎn)接頭。


RIX多通道旋轉(zhuǎn)接頭/半導(dǎo)體行業(yè)用  的詳細(xì)介紹

RIX多通道旋轉(zhuǎn)接頭/半導(dǎo)體行業(yè)用  MS22系列

規(guī)格:

適用流體:純水、空氣 、真空
*大壓力 :-0.095~0.6MPa
*大通路:5
*大轉(zhuǎn)速:800min-1
主要途徑與其特點(diǎn):

在旋轉(zhuǎn)托盤的冷卻水IN/OUT用,晶圓真空夾緊用
空氣/真空流路可能追加

應(yīng)用端設(shè)備對(duì)象:精磨/粗磨、CMP裝置



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